Optical device, optical communication device and manufacturing method of optical device

阅读量:

3

申请(专利)号:

JP20200195308

申请日期:

2020-11-25

公开/公告号:

JP2022083779A

公开/公告日期:

2022-06-06

申请(专利权)人:

富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社

发明人:

杉山 昌樹

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摘要:

Problem to be solved: to provide an optical device capable of suppressing deterioration in the modulation band, an optical communication apparatus, and a method of manufacturing an optical device.The optical device has a Si substrate, a ground electrode, an LN optical waveguide, and a signal electrode.The ground electrode is a ground potential electrode stacked on the Si substrate.An LN optical waveguide is an optical waveguide formed by a thin film ln substrate laminated on a ground electrode.The signal electrode is disposed at a position opposed to the ground electrode with an LN optical waveguide interposed therebetween, and is an electrode for applying a high-frequency signal.Diagram

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