Evaporation source and method of depositing thin film using the same

阅读量:

16

申请(专利)号:

EP20060256598

申请日期:

12/28/2006

公开/公告号:

EP1803836

公开/公告日期:

07/04/2007

被引量:

144

摘要:

An evaporation source for depositing a thin film includes a crucible having a space for a deposition material and at least one baffle, the baffle being positioned inside the crucible and to divide the crucible into a plurality of channels.

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