Evaporation source and method of depositing thin film using the same
申请(专利)号:
EP20060256598
申请日期:
12/28/2006
公开/公告号:
EP1803836
公开/公告日期:
07/04/2007
被引量:
摘要:
An evaporation source for depositing a thin film includes a crucible having a space for a deposition material and at least one baffle, the baffle being positioned inside the crucible and to divide the crucible into a plurality of channels.
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