MEMS DEVICE LEVER

阅读量:

47

申请(专利)号:

11/553459

申请日期:

Oct 26, 2006

公开/公告号:

US20080101748

公开/公告日期:

05/01/2008

申请(专利权)人:

Hewlett-Packard Development Company LP

发明人:

AB JilaniKJ FaaseBSB YehAR PiehlMG MonroeJR Przybyla

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被引量:

328

摘要:

A MEMS device and method include a mechanical plate that is raised or lowered by pivoting a lever coupled to the mechanical plate by a flexible beam.

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