Plasma enhanced chemical deposition for high and/or low index of refraction polymers

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23

摘要:

A method for making a polymer layer with a selected index of refraction. The method includes flash evaporating a polymer precursor material capable of cross linking into a polymer with the selected index of refraction, forming an evaporate, passing the evaporate to a glow discharge electrode creating a glow discharge polymer precursor plasma from the evaporate, and cryocondensing the glow discharge polymer precursor plasma on a substrate as a condensate and crosslinking the condensate thereon, the crosslinking resulting from radicals created in the glow discharge polymer precursor plasma, forming a polymer having the selected index of refraction.

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DOI:

US6858259 B2

被引量:

46

年份:

2005

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2005
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